Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Учебное пособие
Об издании
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Библиографическая запись
Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / Смирнов С.В.. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. — 115 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13944.html (дата обращения: 20.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова Н.С., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
(Ай Пи Ар Медиа)
Балыклова К.С., Власов А.М., Гегечкори В.И., Горпинченко Н.В., Карташов В.С., Касумова К.В., Кокорекин В.А., Кузина В.Н., Медведев Ю.В., Передеряев О.И., Печенников В.М., Прокофьева В.И., Раменская Г...
(Лаборатория знаний)
Ветошкин А.Г.
(Инфра-Инженерия)
Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Схиртладзе А.Г., Федотов А.В., Хомченко В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Антонова Л.И., Городецкий Д.И., Золотарева А.Ф., Красюкова Н.Л., Левицкий М.Л., Морозова Н.В., Недялкова А., Павлов П., Пшехоцка И., Рогозинска-Митруд И., Савина М.В., Саркисян Ж.М., Собонь Я., Солод...
(Научный консультант, Виктория плюс)
Ушков В.А., Пустовгар А.П., Самченко С.В., Бруяко М.Г.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Карпунина Е.В., Карпунин А.Ю.
(Рязанский государственный радиотехнический университет)