IPR SMART / Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Учебное пособие

Издательство:

Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Авторы:

Смирнов С.В.

Год издания:

2010

ISSN:

2227-8397

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».

Библиографическая запись

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / Смирнов С.В.. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. — 115 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13944.html (дата обращения: 27.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Агропромышленный комплекс России: Agriculture 4.0. В 2 томах. Т. 1. Стратегии устойчивого развития регионального агропромышленного комплекса. Индустрия 4.0

Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...

(Ай Пи Ар Медиа)