Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Учебное пособие
Об издании
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Библиографическая запись
Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / Смирнов С.В.. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. — 115 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13944.html (дата обращения: 30.06.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Волосова Е.В., Шипуля А.Н., Пашкова Е.В., Безгина Ю.А., Глазунова Н.Н.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Слесарев А.И., Моисейкин Е.В., Устьянцев Ю.Г.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Рудакова Е.Н., Сафронова А.А., Дианова В.Ю., Земляк С.В., Науменков А.В., Шеломенцева M.B., Киященко Л.Т., Сергиенко Н.С., Гриб Г.Ю., Ли О.А., Лазько О.В., Чулкова Г.В., Сапожникова С.М., Матвеева Е....
(Научный консультант)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Щепеткова Р.А., Павлов И.С., Павлов А.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ильин П.А., Ильин М.А., Хохлов П.И.
(Проспект Науки)
Кондратьева Т.М., Митина Т.В., Царева М.В., Крылова О.В.
(МИСИ-МГСУ, Ай Пи Ар Медиа, ЭБС АСВ)
Коростылев С.А., Устименко Е.А., Громова Н.В., Ситников В.Н., Есаулко А.Н., Голосной Е.В.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)