IPR SMART / Технологическое оборудование для микроэлектроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Технологическое оборудование для микроэлектроники. Учебное пособие

Издательство:

Республиканский институт профессионального образования (РИПО)

Авторы:

Камлюк В.С., Камлюк Д.В.

Год издания:

2014

ISBN:

978-985-503-369-2

Тип издания:

учебное пособие

Гриф:

МО

DOI:

https://doi.org/10.23682/67752 узнать подробнее

Об издании

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.

Библиографическая запись

Камлюк В.С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В.С., Камлюк Д.В.. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67752.html (дата обращения: 07.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей