Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Хорин И.А. Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И.А.. — Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. — 278 c. — ISBN 978-5-4486-0210-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/73345.html (дата обращения: 22.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Косоруков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Иванков А.Н., Иванкова Л.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Курбатов В.А., Рысин Ю.С., Яблочников С.Л.
(Профобразование)
Балабанов В.Ю.
(Профобразование)
Кучерова Е.В., Казарян М.Т., Королева Т.Г.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Васина А.В., Глушкова Ю.О.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Савицкая Г.В.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Баховцев И.А.
(Новосибирский государственный технический университет)