Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии. Монография

Об издании

Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой – высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микро- и нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии.

Библиографическая запись

Макеев, М. О. Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии : монография / М. О. Макеев, С. А. Мешков, Ю. А. Иванов. — Москва : Российский университет дружбы народов, 2018. — 143 c. — ISBN 978-5-209-08575-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/104247.html (дата обращения: 23.03.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей