Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 11.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Магомедова З.А.
(Садра)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Боев В.Д., Сыпченко Р.П.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Магомедова З.А.
(Садра)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Боев В.Д., Сыпченко Р.П.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Лагутина М.Л.
(Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого)
Косоножкина Л.В., Зимина В.П.
(Донской государственный технический университет)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Профобразование)
Горденко Н.В., Горденко Д.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пушкарев В.В., Константинов А.В., Вехов В.Б., Борисов М.А., Стащенко С.П., Михайленко Н.В., Соломатина А.Г., Токолов А.В., Рудин А.В., Шубина К.С., Котова А.А., Бушманова К.А., Барченкова Я.В., Полик...
(Ай Пи Ар Медиа)
Фороузан Б.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Лагутина М.Л.
(Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого)
Косоножкина Л.В., Зимина В.П.
(Донской государственный технический университет)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Профобразование)
Горденко Н.В., Горденко Д.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пушкарев В.В., Константинов А.В., Вехов В.Б., Борисов М.А., Стащенко С.П., Михайленко Н.В., Соломатина А.Г., Токолов А.В., Рудин А.В., Шубина К.С., Котова А.А., Бушманова К.А., Барченкова Я.В., Полик...
(Ай Пи Ар Медиа)
Фороузан Б.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)