Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники. Учебное пособие
Об издании
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
Библиографическая запись
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники : учебное пособие / И.С. Васильевский [и др.].. — Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. — 256 c. — ISBN 978-5-7262-2398-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116403.html (дата обращения: 30.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
Котова О.В., Скидан Ю.В.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
Волосова Е.В., Шипуля А.Н., Пашкова Е.В., Безгина Ю.А., Глазунова Н.Н.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Козлова А.Т., Исаев А.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Бердышев В.Е., Валиев А.Р., Зиганшин Б.Г., Дмитриев А.В., Халиуллин Д.Т., Лушнов М.А., Нафиков И.Р., Яруллин Ф.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Михин М.Н., Белова Т.Б.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ладыженская Т.П., Лабужская Т.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Михайлов А.А., Ботыгин В.И., Гинко В.И., Кисляков П.А., Смирнов В.А.
(Инфра-Инженерия)
Ильина И.Е., Бородулина Н.Ю., Макеева М.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)