Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур. Учебно-методическое пособие
Об издании
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кристаллографической структурой – химическому осаждению из газовой фазы, осаждению из жидкой фазы и сублимации. Основной акцент делается на возможности использования энергетического взаимодействия на границы раздела фаз для активирования процессов образования слоев – импульсного лазерного и ионно-плазменного. Рассматривается уточненная классификация методов и способов получения тонких слоев и гетероструктур на основе карбида кремния, основанная преимущественно на физических или химических процессах на границе фазообразования. Приводятся и анализируются базовые параметры и свойства полупроводникового карбида кремния, твердых растворов SiC-III-нитриды, включая полиморфизм. Предназначено для бакалавров, магистров, инженеров, аспирантов и научных работников, специализирующихся в области экстремальной электроники.
Библиографическая запись
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур : учебно-методическое пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. — 148 c. — ISBN 978-5-7262-2422-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116427.html (дата обращения: 22.03.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
.jpg)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Айвенс К.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Айвенс К.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Нейман В.Ю.
(Новосибирский государственный технический университет)
Афонин В.Л., Макушкин В.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Киренберг А.Г., Коротин В.О.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Гомелева Е.Ю., Каширская Т.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Нейман В.Ю.
(Новосибирский государственный технический университет)
Афонин В.Л., Макушкин В.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Киренберг А.Г., Коротин В.О.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Гомелева Е.Ю., Каширская Т.П.
(Ай Пи Ар Медиа)