Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур. Учебно-методическое пособие
Об издании
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кристаллографической структурой – химическому осаждению из газовой фазы, осаждению из жидкой фазы и сублимации. Основной акцент делается на возможности использования энергетического взаимодействия на границы раздела фаз для активирования процессов образования слоев – импульсного лазерного и ионно-плазменного. Рассматривается уточненная классификация методов и способов получения тонких слоев и гетероструктур на основе карбида кремния, основанная преимущественно на физических или химических процессах на границе фазообразования. Приводятся и анализируются базовые параметры и свойства полупроводникового карбида кремния, твердых растворов SiC-III-нитриды, включая полиморфизм. Предназначено для бакалавров, магистров, инженеров, аспирантов и научных работников, специализирующихся в области экстремальной электроники.
Библиографическая запись
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур : учебно-методическое пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. — 148 c. — ISBN 978-5-7262-2422-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116427.html (дата обращения: 01.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Малыш М.Н., Ткаченко В.А.
(Проспект Науки)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Профобразование)
Волосова Е.В., Шипуля А.Н., Пашкова Е.В., Безгина Ю.А., Глазунова Н.Н.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Громова Д.С., Павлова О.Н., Павленко С.И., Беляков В.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Слесарев А.И., Моисейкин Е.В., Устьянцев Ю.Г.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Базарнова Ю.Г., Иванченко О.Б., Севастьянова А.Д.
(Проспект Науки)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Баскаков В.С., Косова А.Л., Прокопьев В.И.
(Поволжский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Мурзинов В.Л., Иванова И.А., Сушко Е.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Мозгова Г.В., Савенков А.П., Дивин А.Г., Пономарев С.В., Шишкина Г.В.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Сагалович С.Я., Андрюхина Т.Н., Ситкина Л.П.
(Вузовское образование)
Попов Г.В., Клейменова Н.Л., Косенко И.С., Орловцева О.А., Жашков А.А.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)
Кураев А.А., Ларичкин В.В., Обуховский А.Д., Саленко С.Д.
(Новосибирский государственный технический университет)