Введение в физику и технологию планарных наноструктур. Учебное пособие

Об издании

Рассмотрены аспекты термодинамики поверхности, атомной структуры и электронных свойств двумерных (планарных) наноструктур. Дается введение в понятия релаксации и реконструкции поверхностей, поверхностных и интерфейсных состояний, областей пространственного заряда и двумерного электронного газа. Также кратко рассмотрены все основные классические и перспективные технологические методы получения тонких пленок нанометровой толщины. Предназначено для обучающихся средних и старших курсов по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» по профилю подготовки «Светотехника и источники света» и «Промышленная электроника», а также по направлению 28.03.02 «Наноинженерия» и 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов».

Библиографическая запись

Ершов И.В. Введение в физику и технологию планарных наноструктур : учебное пособие / Ершов И.В., Илясов В.В.. — Ростов-на-Дону : Донской государственный технический университет, 2018. — 100 c. — ISBN 978-5-7890-1539-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/118028.html (дата обращения: 11.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей