Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Антонян А.Р., Белослюдова О.В., Бурлуцкий А.Н., Краснова А.Г., Матецкая А.В., Раевский А.Н.
(Издательство Южного федерального университета)
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Антонян А.Р., Белослюдова О.В., Бурлуцкий А.Н., Краснова А.Г., Матецкая А.В., Раевский А.Н.
(Издательство Южного федерального университета)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Пролыгина Н.В., Шуляк А.С.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Кужева Е.В., Шнипова Т.А., Агеева Н.В.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Аболина Н.С.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Приешкина А.Н.
(Профобразование)
Подольский В.И., Щербакова Н.С., Комиссаров В.Л.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Пролыгина Н.В., Шуляк А.С.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Кужева Е.В., Шнипова Т.А., Агеева Н.В.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Аболина Н.С.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Приешкина А.Н.
(Профобразование)
Подольский В.И., Щербакова Н.С., Комиссаров В.Л.
(ЮНИТИ-ДАНА)