IPR SMART / Современное технологическое оборудование для микроэлектроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие

Издательство:

Республиканский институт профессионального образования (РИПО)

Авторы:

Камлюк В.С., Камлюк Д.В.

Год издания:

2022

ISBN:

978-985-895-032-3

Тип издания:

учебное пособие

Гриф:

МО

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».

Библиографическая запись

Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей