Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Агаркова Л.В., Доронин Б.А., Глотова И.И., Томилина Е.П., Клишина Ю.Е., Углицких О.Н., Сафиуллаева Р.И.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Майбуров И.А., Абрамов М.Д., Агарков Г.А., Барулин С.В., Батуева Д.Д., Башкирова Н.Н., Гончаренко Л.И., Журавлева И.А., Ермакова Е.А., Иванов Ю.Б., Каратаева Г.Е., Липатова И.В., Миронова О.А., Окано...
(ЮНИТИ-ДАНА)
Спиридонов А.А., Гиздатов А.Р., Кожевников О.А., Ларичев А.А., Карасев А.Т., Крысанов А.В., Мещеряков А.Н., Векшин А.А., Никонова Ю.Ш....
(Ай Пи Ар Медиа)
Агаркова Л.В., Доронин Б.А., Глотова И.И., Томилина Е.П., Клишина Ю.Е., Углицких О.Н., Сафиуллаева Р.И.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Майбуров И.А., Абрамов М.Д., Агарков Г.А., Барулин С.В., Батуева Д.Д., Башкирова Н.Н., Гончаренко Л.И., Журавлева И.А., Ермакова Е.А., Иванов Ю.Б., Каратаева Г.Е., Липатова И.В., Миронова О.А., Окано...
(ЮНИТИ-ДАНА)
Спиридонов А.А., Гиздатов А.Р., Кожевников О.А., Ларичев А.А., Карасев А.Т., Крысанов А.В., Мещеряков А.Н., Векшин А.А., Никонова Ю.Ш....
(Ай Пи Ар Медиа)