Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем. Учебное пособие

Издательство:
Новосибирский государственный технический университет
Авторы:
Васильев В.Ю.
Год издания:
2022
ISBN:
978-5-7782-4726-0
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Библиографическая запись

Васильев В.Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. — 131 c. — ISBN 978-5-7782-4726-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/126638.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия