IPR SMART / Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем. Учебное пособие

Издательство:

Новосибирский государственный технический университет

Авторы:

Васильев В.Ю.

Год издания:

2022

ISBN:

978-5-7782-4726-0

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Библиографическая запись

Васильев В.Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. — 131 c. — ISBN 978-5-7782-4726-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/126638.html (дата обращения: 20.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Организация туристской деятельности

Веселова Н.Ю.

(Дашков и К, Ай Пи Эр Медиа)

Автоматизация деятельности предприятия розничной торговли с использованием информационной системы Microsoft Dynamics NAV

Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Автомобильные двигатели

Варис В.С., Спиридонова Ю.В.

(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)

Автомобильные эксплуатационные материалы

Варис В.С.

(Профобразование)

Аддитивные технологии в дизайне и художественной обработке материалов

Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.

(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)

Академическая скульптура и пластическое моделирование: материалы и технологии

(Ай Пи Ар Медиа)

Активирующее смешение в технологии полимеров

Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....

(Проспект Науки)