Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
Об издании
Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Библиографическая запись
Зеленин, В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин. — Минск : Белорусская наука, 2022. — 291 c. — ISBN 978-985-08-2875-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/128089.html (дата обращения: 09.02.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Боев В.Д., Сыпченко Р.П.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А.
(Лаборатория знаний)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ачкасов Е.Е., Васильев О.С., Коваленко А.А., Будко Д.Ю., Кулбасова К.А., Мавлянова З.Ф., Парахин В.А., Рохлин А.В., Руненко С.Д., Орлова А.П....
(Издательство «Спорт»)
Супрун А.А., Терехина Р.Н., Медведева Е.Н., Капранова О.С.
(Издательство «Спорт»)
Виноградов В.А., Кошель А.С., Ларичев А.А., Александрова Е.В., Бабаева Ю.Г., Бабичев И.В., Гаджиева А.О., Головин А.Г., Кожевников О.А., Комлев Е.Ю., Мазаев В.Д., Масленникова С.В., Овчинников И.И., ...
(Ай Пи Ар Медиа)
Двейрина О.А., Белый К.В., Крылов А.И., Терехина Р.Н., Курамшин Ю.Ф., Косьмина Е.А., Лалочкин М.М., Лалочкина А.С., Мельников Д.С., Ожиганова А.С., Терехин В.С., Шустиков Г.Б., Балякина Н.А....
(Издательство «Спорт»)
Эльгарова Л.В., Сабанчиева Х.А., Чочаева М.Ж., Кешоков Р.Х.
(Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова)
Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Игнаткин И.Ю., Скороходов Д.М., Мельников О.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Татаева И.Ю.
(Российская таможенная академия)
Бурмагина Т.Ю., Полянская И.С.
(Ай Пи Ар Медиа)