Ионная и фотонная обработка материалов. Учебное пособие
Об издании
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Библиографическая запись
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 28.04.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Биллиг В.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Морозов Ю.М., Мовчан К.Н., Оболенская Т.И., Халилов М.А., Татаркин В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова Н.С., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Виноградов В.А., Кошель А.С., Ларичев А.А., Александрова Е.В., Бабаева Ю.Г., Бабичев И.В., Гаджиева А.О., Головин А.Г., Кожевников О.А., Комлев Е.Ю., Мазаев В.Д., Масленникова С.В., Овчинников И.И., ...
(Ай Пи Ар Медиа)
Эльгарова Л.В., Сабанчиева Х.А., Чочаева М.Ж., Кешоков Р.Х.
(Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова)
Ерохин М.Н., Казанцев С.П., Игнаткин И.Ю., Скороходов Д.М., Мельников О.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Татаева И.Ю.
(Российская таможенная академия)
Бурмагина Т.Ю., Полянская И.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Цомартова Т.А.
(Северо-Осетинский государственный педагогический институт)
Разин А.Н.
(Российский федеральный ядерный центр – ВНИИЭФ)