Ионная и фотонная обработка материалов. Учебное пособие
Об издании
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Библиографическая запись
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 28.04.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Бубнова С.Ю., Макарова В.Н., Ставцева Е.А., Тихонова О.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Захарчук Л.А., Осадчая Е.А., Ставцева Е.А., Тихонова О.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Космодемьянская Е.Е., Мельников Е.Б., Горбунов А.С., Трояк Е.Ю.
(Сибирская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Бубнова С.Ю., Макарова В.Н., Ставцева Е.А., Тихонова О.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Захарчук Л.А., Осадчая Е.А., Ставцева Е.А., Тихонова О.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Космодемьянская Е.Е., Мельников Е.Б., Горбунов А.С., Трояк Е.Ю.
(Сибирская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Букунов С.В., Букунова О.В.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Аксенов И.А., Алиева Л.Н., Алонсо И.А., Ахполова З.К., Гуреев В.А., Ефлеева Е.А., Жданухин Д.Ю., Илюшина М.Н., Кукуев С.Ю., Николаев И.А., Ряховский К.Б., Селионов И.В., Смирнова Ю.Ю., Святышева А.В....
(Деловой стиль)
Тимофейчева В.А.
(Вузовское образование)
Мартьянова Н.А., Зарубин В.Г., Семенов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Синютин С.А., Леонова А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Шамова В.В., Кудряшов А.Ю., Загинайлова Н.В., Кусова Е.В.
(Сибирский государственный университет водного транспорта)
Проскуряков А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Букунов С.В., Букунова О.В.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Аксенов И.А., Алиева Л.Н., Алонсо И.А., Ахполова З.К., Гуреев В.А., Ефлеева Е.А., Жданухин Д.Ю., Илюшина М.Н., Кукуев С.Ю., Николаев И.А., Ряховский К.Б., Селионов И.В., Смирнова Ю.Ю., Святышева А.В....
(Деловой стиль)
Тимофейчева В.А.
(Вузовское образование)
Мартьянова Н.А., Зарубин В.Г., Семенов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Синютин С.А., Леонова А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Шамова В.В., Кудряшов А.Ю., Загинайлова Н.В., Кусова Е.В.
(Сибирский государственный университет водного транспорта)
Проскуряков А.В.
(Издательство Южного федерального университета)