Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1. Учебное пособие
Об издании
Ионная имплантация приобрела в последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, увеличение срока службы шарикоподшипников, повышение твердости и износостойкости инструмента, создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть первая содержит информацию о достижениях ионной имплантации, закономерностях материаловедения, методологии электроники, технологий нанесения металлических структур интегральных схем. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по укрупненной группе направлений подготовки и специальностей «Электро- и теплоэнергетика», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.
Библиографическая запись
Перинский, В. В. Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1 : учебное пособие / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — 2-е изд. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2024. — 94 c. — ISBN 978-5-4497-3560-7 (ч. 1), 978-5-4497-3558-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/142807.html (дата обращения: 03.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Козусев Ю.А., Ростокина О.М.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Кортов В.С., Никифоров С.В.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Слесарев А.И., Моисейкин Е.В., Устьянцев Ю.Г.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Красников А.С., Мызина С.Д.
(Новосибирский государственный университет)
Глухарева Т.В., Селезнева И.С.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Глухарева Т.В., Селезнева И.С.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Шитова Л.Ф.
(Антология)
Карнаухов В.Я., Карпец А.П.
(Антология)
Лабзина П.Г., Лазарева Е.В., Меньшенина С.Г.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Манченко Е.С., Фокина Ю.М.
(Астраханский государственный университет, Издательский дом «Астраханский университет»)
Бухарова Т.Г.
(Нижегородская государственная консерватория (академия) им. М.И. Глинки)
Вольтер, Мольер, Дидто Дени, Франс Анатоль, Мопассан Ги де, Доде Альфонс, Лесаж, Рабле Франсуа, Мериме Проспер, Санд Жорж, Легуве Эрнест, Поль-Луи Курье, Капю Альфред, Валлес Жюль, Стейнбек Джон...
(Антология)