Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 2. Учебное пособие
Об издании
Ионная имплантация приобрела за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов электронной техники, но и как универсальный метод экспериментального материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках твэлов ядерных реакторов; замена покрытий из драгоценных металлов ионно-модифицированными аналогами, повышение твердости, износостойкости тонких металлических слоев изделий электронной техники; увеличение срока службы шарикоподшипников; создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть вторая содержит информацию об ионно-лучевой технологии монолитных СВЧ-устройств, управлении структурно-химическими свойствами материалов ионно-лучевой обработкой, физике и технике ионной имплантации, ионно-легированных аналогах драгоценных металлов монолитных СВЧ-устройств. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по укрупненной группе направлений подготовки и специальностей «Электро- и теплоэнергетика», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.
Библиографическая запись
Перинский, В. В. Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 2 : учебное пособие / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — 2-е изд. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2024. — 134 c. — ISBN 978-5-4497-3561-4 (ч. 2), 978-5-4497-3558-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/142808.html (дата обращения: 03.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Иванова И.С., Ильина С.А., Левина В.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Завражнов А.И., Прохоров А.В., Ведищев С.М., Коновалов В.В., Бралиев М.К., Китун А.В., Романюк Н.Н., Глазков Ю.Е., Павлов А.Г., Хольшев Н.В., Брусенков А.В., Анашкин А.В....
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Антонов Ю.И., Простосердов М.А., Талаев И.В.
(Российский государственный университет правосудия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Петухова Е.В., Канарская З.А., Крыницкая А.Ю.
(Казанский национальный исследовательский технологический университет)
Кузнецова О.Ю., Ежкова Г.О.
(Казанский национальный исследовательский технологический университет)
Смаль Н.А.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Воронина М.С.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Новикова И.В., Мальцева О.Ю., Зуева Н.В.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)
Лазарев С.И., Вязовов С.А., Ковалев С.В., Кузнецов М.А., Абоносимов О.А.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Крякунова Е.В., Канарская З.А., Петухова Е.В., Поливанов М.А.
(Казанский национальный исследовательский технологический университет)
Алексеев Г.В., Верболоз Е.И.
(Вузовское образование)