Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Об издании
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Библиографическая запись
Гридчин, А. В. Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / А. В. Гридчин. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. — 232 c. — ISBN 978-5-9729-1613-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/143195.html (дата обращения: 15.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Миллз К., Лоусон Б., Лауке П.Х., Колсериу К.И., Сучан М., Тейлор М., Диксит Ш., Дэвис Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Голубенко Н.Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Коноплева Е.В.
(Проспект Науки)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Валенкова Е.Н.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Аверьянов А.П., Азаренко Л.Г., Вокин Г.Г., Кащеев Н.А., Мачнева Л.А., Чаплинский В.С.
(Инфра-Инженерия)
Козлова А.Т., Исаев А.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Будагян Р.Р., Зайцева М.Л.
(Научный консультант)
(Астраханский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Епишкина А.В., Когос К.Г.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Гринберг А.С., Горбачёв Н.Н., Горбачёв Н.Н., Мухаметшина О.А.
(ЮНИТИ-ДАНА)