Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Об издании
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Библиографическая запись
Гридчин, А. В. Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / А. В. Гридчин. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. — 232 c. — ISBN 978-5-9729-1613-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/143195.html (дата обращения: 15.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Шварц Е.С., Борунова Е.Б., Забенькина Е.О., Пескова И.М.
(Московский педагогический государственный университет)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Миллз К., Лоусон Б., Лауке П.Х., Колсериу К.И., Сучан М., Тейлор М., Диксит Ш., Дэвис Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Романова В.В., Клеандров М.И., Нахова Е.А., Боска С., Городов О.А., Кологерманская Е.М., Лобанов С.А., Салиева Р.Н., Дороговцева Ж.В., Ахунзянов Д.Ф., Жаровских Е.Д., Павлова И.Н., Бородаев В.Е., Мел...
(Научно-исследовательский «Центр развития энергетического права и современной правовой науки имени В.А. Мусина»)
Катин В.Д., Журавлев А.А.
(Инфра-Инженерия)
Чуманов И.В., Порсев М.А.
(Инфра-Инженерия)
Дюжиков С.А., Ковтуненко И.В., Кравец А.Е., Нор-Аревян О.А., Пилипенко А.Э., Черевкова А.И.
(Издательство Южного федерального университета)
Эриашвили Н.Д., Коротков А.В., Синяева И.М., Болдырева Т.В., Замедлина Е.А., Маслова В.М., Соскин Я.Г.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Панова Т.В., Панов М.В.
(Брянский государственный аграрный университет)
Панова Т.В., Панов М.В.
(Брянский государственный аграрный университет)