Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Об издании
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Библиографическая запись
Гридчин, А. В. Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / А. В. Гридчин. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. — 232 c. — ISBN 978-5-9729-1613-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/143195.html (дата обращения: 15.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Савельев А.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ачкасов В.Ю.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Городняя Л.В., Березин Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Савельев А.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ачкасов В.Ю.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Городняя Л.В., Березин Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Малько А.В., Саломатин А.Ю., Гук П.А., Гуляков А.Д., Макеева Н.В., Петров Д.Е., Суменков С.Ю., Терехин В.А., Фомин А.А., Шишкин А.Д....
(Юридический центр Пресс)
Ваулина О.А.
(Рязанский государственный агротехнологический университет имени П.А. Костычева)
Федоров Ю.А., Овсепян А.Э., Бэллинджер О.Ю.
(Издательство Южного федерального университета)
Маглинец Ю.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Посталовский А.В., Бельский А.М., Воронина С.Н., Горбач М.И., Кармызова Д.Д., Малиновская Н.Н., Нейман К.П., Сухотский Н.Н., Поклад Е.А., Грак С.С., Новицкий Е.Н....
(Белорусская наука)
Романенко М.И.
(Пензенский государственный университет архитектуры и строительства, ЭБС АСВ)
Малько А.В., Саломатин А.Ю., Гук П.А., Гуляков А.Д., Макеева Н.В., Петров Д.Е., Суменков С.Ю., Терехин В.А., Фомин А.А., Шишкин А.Д....
(Юридический центр Пресс)
Ваулина О.А.
(Рязанский государственный агротехнологический университет имени П.А. Костычева)
Федоров Ю.А., Овсепян А.Э., Бэллинджер О.Ю.
(Издательство Южного федерального университета)
Маглинец Ю.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Посталовский А.В., Бельский А.М., Воронина С.Н., Горбач М.И., Кармызова Д.Д., Малиновская Н.Н., Нейман К.П., Сухотский Н.Н., Поклад Е.А., Грак С.С., Новицкий Е.Н....
(Белорусская наука)
Романенко М.И.
(Пензенский государственный университет архитектуры и строительства, ЭБС АСВ)