Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Библиографическая запись
Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение : учебное пособие / Духопельников Д.В.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2014. — 56 c. — ISBN 978-5-7038-3798-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30887.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Айвенс К.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хенриксон Х., Хофманн С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Блам Р.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Хоферихтер Н.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Хоферихтер Н.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Кривошеев М.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Сорока О.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Дуктов А.П., Садомов Н.А., Бахарев А.А., Ковалева О.В., Сибен А.Н.
(Государственный аграрный университет Северного Зауралья)
Гниденко И.Г., Егорова И.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Бесплатная
онлайн-стажировка по робототехнике!
Совместный проект ЮУрГУ, ЧКПЗ и IPR MEDIA "Техническое зрение для сортировки деталей сложной формы"
Количество участников ограничено, участвуйте в конкурсе заявок прямо сейчас!
Инновационная программа
в формате 3-недельной онлайн-стажировки
с опытным преподавателем-практиком ЮУрГУ
Заявки принимаются
до 20 июня 2024 года
Старт программы
20 июня 2024 года
Результаты конкурса и список подтвержденных участников программы
22 июня 2024 года
Заполните форму, и мы свяжемся с вами!
Программа ППК предназначена для студентов и выпускников следующих направлений подготовки:
По итогам программы слушатели получат:
