Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Библиографическая запись
Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение : учебное пособие / Духопельников Д.В.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2014. — 56 c. — ISBN 978-5-7038-3798-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30887.html (дата обращения: 23.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Иванков А.Н., Иванкова Л.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Горденко Н.В., Горденко Д.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Курбатов В.А., Рысин Ю.С., Яблочников С.Л.
(Профобразование)
Балабанов В.Ю.
(Профобразование)
Сухонина Н.С.
(Вузовское образование)
Трофимова Н.В., Сипкин В.А., Брюханов А.В., Неповинных А.Г., Шебета Д.И., Астапенко С.А., Гвоздарев А.А.
(Всемирный фонд дикой природы (WWF))
Крамаренко Н.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Баховцев И.А.
(Новосибирский государственный технический университет)
Алесенкова В.Н.
(Саратовская государственная консерватория имени Л.В. Собинова)