Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Учебное пособие

Издательство:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Авторы:
Духопельников Д.В.
Год издания:
2014
ISBN:
978-5-7038-3798-6
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Библиографическая запись

Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение : учебное пособие / Духопельников Д.В.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2014. — 56 c. — ISBN 978-5-7038-3798-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30887.html (дата обращения: 23.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия