Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Потловский К.Г. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2013. — 68 c. — ISBN 978-5-7038-3729-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30892.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Зыков С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Надеждин Н.Я.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Хоферихтер Н.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Хоферихтер Н.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Кривошеев М.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Сорока О.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Дуктов А.П., Садомов Н.А., Бахарев А.А., Ковалева О.В., Сибен А.Н.
(Государственный аграрный университет Северного Зауралья)
Гниденко И.Г., Егорова И.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Сорока О.В.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Алехин И.П., Белова В.В., Бобров А.В., Бойчук А.А., Борисова С.О., Бродский А.Г., Бурдина Л.Л., Вакурова Е.С., Валитова Д. А., Ворыханов А.В., Гадзиева И.В., Гвоздев А.А., Гегенава М.В., Гергиева З.А...
(Научный консультант)