Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Учебное пособие

Издательство:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Авторы:
Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.
Год издания:
2013
ISBN:
978-5-7038-3729-0
Тип издания:
учебное пособие
Гриф:
УМО
DOI:

Об издании

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Библиографическая запись

Потловский К.Г. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2013. — 68 c. — ISBN 978-5-7038-3729-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30892.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия