Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Потловский К.Г. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2013. — 68 c. — ISBN 978-5-7038-3729-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30892.html (дата обращения: 07.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Зыков С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Надеждин Н.Я.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Зыков С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Надеждин Н.Я.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Лосева М.А., Расщепкина Н.А., Кудряшов С.Ю.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Шпиганович А.Н., Шпиганович А.А., Зацепин Е.П., Зацепина В.И., Астанин С.С.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Шпиганович А.Н., Шпиганович А.А., Зацепин Е.П., Зацепина В.И., Астанин С.С.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Павлов И.И., Павлова М.С., Абрамова Е.С., Абрамов С.С.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Баранник Ю.Г., Романинец Р.Н.
(Донецкая академия управления и государственной службы)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Лосева М.А., Расщепкина Н.А., Кудряшов С.Ю.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Шпиганович А.Н., Шпиганович А.А., Зацепин Е.П., Зацепина В.И., Астанин С.С.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Шпиганович А.Н., Шпиганович А.А., Зацепин Е.П., Зацепина В.И., Астанин С.С.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Павлов И.И., Павлова М.С., Абрамова Е.С., Абрамов С.С.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Баранник Ю.Г., Романинец Р.Н.
(Донецкая академия управления и государственной службы)