IPR SMART / Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Учебное пособие

Издательство:

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Авторы:

Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.

Год издания:

2013

ISBN:

978-5-7038-3729-0

Тип издания:

учебное пособие

Гриф:

УМО

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Библиографическая запись

Потловский К.Г. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2013. — 68 c. — ISBN 978-5-7038-3729-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30892.html (дата обращения: 22.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Агропромышленный комплекс России: Agriculture 4.0. В 2 томах. Т. 2. Современные технологии в агропромышленном комплексе России и зарубежных стран. Сельское хозяйство 4.0. Цифровизация АПК

Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...

(Ай Пи Ар Медиа)