Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра. Учебное пособие
Об издании
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Сагателян Г.Р. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра : учебное пособие / Сагателян Г.Р., Макушина Н.В.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2006. — 50 c. — ISBN 5-7038-2926-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31257.html (дата обращения: 13.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Алтыникова Н.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алифанов О.В., Ахметчина Т.М., Валянский С.И., Данкин Г.Д., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Степанова В.А....
(Издательский Дом МИСиС)
Валянский С.И., Данилова Е.В., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Уварова И.Ф.
(Издательский Дом МИСиС)
Смирнова А.В.
(Набережночелнинский государственный педагогический университет)
(Чеченский государственный университет)
Алтыникова Н.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алифанов О.В., Ахметчина Т.М., Валянский С.И., Данкин Г.Д., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Степанова В.А....
(Издательский Дом МИСиС)
Валянский С.И., Данилова Е.В., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Уварова И.Ф.
(Издательский Дом МИСиС)
Смирнова А.В.
(Набережночелнинский государственный педагогический университет)
(Чеченский государственный университет)