IPR SMART / Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра. Учебное пособие

Издательство:

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Авторы:

Сагателян Г.Р., Макушина Н.В.

Год издания:

2006

ISBN:

5-7038-2926-7

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника».

Библиографическая запись

Сагателян Г.Р. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра : учебное пособие / Сагателян Г.Р., Макушина Н.В.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2006. — 50 c. — ISBN 5-7038-2926-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31257.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Агропромышленный комплекс России: Agriculture 4.0. В 2 томах. Т. 2. Современные технологии в агропромышленном комплексе России и зарубежных стран. Сельское хозяйство 4.0. Цифровизация АПК

Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...

(Ай Пи Ар Медиа)