IPR SMART / Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Чтение online

Недоступно Купить

Купить книгу

Рейтинг издания

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Издательство:

Техносфера

Авторы:

Берлин Б.В., Сейдман Л.А.

Год издания:

2014

ISBN:

978-5-94836-369-1

Тип издания:

монография

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Библиографическая запись

Берлин Б.В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Б.В., Сейдман Л.А.. — Москва : Техносфера, 2014. — 256 c. — ISBN 978-5-94836-369-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31877.html (дата обращения: 23.12.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Выявление и основы расследования административных правонарушений, отнесенных к компетенции таможенных органов

Клейменова А.Н.

(Троицкий мост)

Работа в современном офисе

Прохоров А.Н.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Администрирование ОС Linux

Гончарук С.В.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Активирующее смешение в технологии полимеров

Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....

(Проспект Науки)