Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I. Учебное пособие
Об издании
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Библиографическая запись
Филимонова Н.И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I : учебное пособие / Филимонова Н.И., Кольцов Б.Б.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2013. — 134 c. — ISBN 978-5-7782-2158-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45104.html (дата обращения: 27.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрамов И.В., Абрамов А.И., Никитин Ю.Р., Трефилов С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Котенко И.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Полоз Т.П., Наумчик Е.В.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))
Игнатьев В.А., Галишникова В.В.
(МИСИ-МГСУ, Ай Пи Ар Медиа, ЭБС АСВ)
Авдеева В.В.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Васильева А.А.
(Астраханский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Киселева О.А., Мамонтов С.А.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)