Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 23.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Апатцев В.И., Иванкова Л.Н., Иванков А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Иванков А.Н., Иванкова Л.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Курбатов В.А., Рысин Ю.С., Яблочников С.Л.
(Профобразование)
Балабанов В.Ю.
(Профобразование)
Васина А.В., Глушкова Ю.О.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Савицкая Г.В.
(Республиканский институт профессионального образования (РИПО))