Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 14.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Профобразование)
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Айвенс К.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Профобразование)
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Айвенс К.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гунина И.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Саталкина Н.И.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Васина А.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гунина И.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Саталкина Н.И.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Васина А.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)