Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие

Издательство:
Новосибирский государственный технический университет
Авторы:
Каменская А.В.
Год издания:
2010
ISBN:
978-5-7782-1420-0
Тип издания:
учебно-методическое пособие
DOI:

Об издании

В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».

Библиографическая запись

Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 23.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия