Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
Об издании
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. — 45 c. — ISBN 978-5-87623-662-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56066.html (дата обращения: 07.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Буре Н.А., Суханова О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Косоруков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Блам Р.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Буре Н.А., Суханова О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Косоруков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Блам Р.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Зариковская Н.В.
(Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники)
Опанасенко О.Н., Крутько Н.П.
(Белорусская наука)
Холомина Т.А., Зубков М.В.
(Рязанский государственный радиотехнический университет)
Грекул В.И., Денищенко Г.Н., Коровкина Н.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Проскуряков А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Синицын С.В., Налютин Н.Ю.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Петров С.М.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Зариковская Н.В.
(Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники)
Опанасенко О.Н., Крутько Н.П.
(Белорусская наука)
Холомина Т.А., Зубков М.В.
(Рязанский государственный радиотехнический университет)
Грекул В.И., Денищенко Г.Н., Коровкина Н.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Проскуряков А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Синицын С.В., Налютин Н.Ю.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Петров С.М.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)