Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. — 384 c. — ISBN 978-985-503-627-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67660.html (дата обращения: 31.07.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Цехановский В.В., Водяхо А.И.
(Ай Пи Ар Медиа, EDP Hub (Идипи Хаб))
Милославская М.М.
(Научный консультант)
Назаров С.В., Белоусова С.Н., Бессонова И.А., Гиляревский Р.С., Гудыно Л.П., Егоров В.С., Исаев Д.В., Кириченко А.А., Кишкович Ю.П., Кравченко Т.К., Куприянов Д.В., Меликян А.В., Пятибратов А.П., Кир...
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Семенов А.Б., Артюшенко В.М., Аббасова Т.С.
(Научный консультант)
Шарифуллин А.В., Байбекова Л.Р., Ганиева Т.Ф., Овчинникова Ю.С.
(Проспект Науки)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Романова Т.В., Якунина А.В.
(Ай Пи Ар Медиа)