Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись
Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-0337-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/86656.html (дата обращения: 06.03.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Нейтан Т.
(Альпина нон-фикшн)
Лоскутов В.И., Коробова И.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Дубина И.Н., Шаповалова С.В.
(Профобразование)
Лемоль Дж.
(Альпина Паблишер)
Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А.
(Лаборатория знаний)
Олифер В.Г., Олифер Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Нейтан Т.
(Альпина нон-фикшн)
Лоскутов В.И., Коробова И.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Дубина И.Н., Шаповалова С.В.
(Профобразование)
Лемоль Дж.
(Альпина Паблишер)
Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А.
(Лаборатория знаний)
Олифер В.Г., Олифер Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Шаповалов А.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гудникова Т.С.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Шаповалов А.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гудникова Т.С.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)