Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. — 104 c. — ISBN 978-5-9275-2395-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87516.html (дата обращения: 15.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Морозова Н.Н., Милашевич Е.А., Якубук Ю.П.
(Белорусская наука)
Кулешова Е.В.
(Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент)
Трухина Н.И., Макаров Е.И., Чугунов А.В.
(Воронежский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Сысоев Л.В.
(Московская государственная академия водного транспорта)
Розин В.М., Аршинов В.И., Свирский Я.И.
(Институт философии РАН)