Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Издательство:
Белорусская наука
Авторы:
Достанко А.П., Бордусов С.В., Голосов Д.А., Завадский С.М., Колос В.В., Купо А.Н., Ланин В.Л., Лушакова М.С., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Петлицкий А.Н., Петухов И.Б., Солодуха В.А., Телеш Е.В.
Сведения об ответственности:
ред. Достанко А.П.
Год издания:
2018
ISBN:
978-985-08-2298-7
Тип издания:
монография
DOI:

Об издании

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Библиографическая запись

Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко, С. В. Бордусов, Д. А. Голосов [и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. — Минск : Белорусская наука, 2018. — 271 c. — ISBN 978-985-08-2298-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/88693.html (дата обращения: 17.01.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия