Микроэлектромеханика. Учебное пособие
Об издании
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».
Библиографическая запись
Остертак Д.И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Остертак Д.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. — 121 c. — ISBN 978-5-7782-2901-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/91603.html (дата обращения: 23.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Долгов А.П.
(Новосибирский государственный технический университет)
Кусакина О.Н., Рыбасова Ю.В., Чередниченко О.А., Куренная В.В., Гунько Ю.А., Агаларова Е.Г., Косинова Е.А., Айдиноа А.Т., Казарова А.Я., Антонова И.Ю....
(АГРУС)
Коваленя А.А., Данилович В.В., Валаханович И.А., Великий А.Ф., Жилинский М.Г., Зданович В.В., Ладысев В.Ф., Литвин А.М., Мазец В.Г., Нестерович Н.Б., Олехнович Р.А., Тихомиров А.В....
(Белорусская наука)
Солодова Н.Л., Терентьева Н.А.
(Казанский национальный исследовательский технологический университет)
Бесплатная
онлайн-стажировка по робототехнике!
Совместный проект ЮУрГУ, ЧКПЗ и IPR MEDIA "Техническое зрение для сортировки деталей сложной формы"
Количество участников ограничено, участвуйте в конкурсе заявок прямо сейчас!
Инновационная программа
в формате 3-недельной онлайн-стажировки
с опытным преподавателем-практиком ЮУрГУ
Заявки принимаются
до 20 июня 2024 года
Старт программы
20 июня 2024 года
Результаты конкурса и список подтвержденных участников программы
22 июня 2024 года
Заполните форму, и мы свяжемся с вами!
Программа ППК предназначена для студентов и выпускников следующих направлений подготовки:
По итогам программы слушатели получат:
