Микроэлектромеханика. Учебное пособие
Об издании
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».
Библиографическая запись
Остертак Д.И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Остертак Д.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. — 121 c. — ISBN 978-5-7782-2901-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/91603.html (дата обращения: 07.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Надеждин Н.Я.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куприенко П.С., Каргашилов Д.В., Иванова И.А., Паршина А.П., Сушко Е.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Павлов И.И., Павлова М.С., Абрамова Е.С., Абрамов С.С.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Баранник Ю.Г., Романинец Р.Н.
(Донецкая академия управления и государственной службы)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Лосева М.А., Расщепкина Н.А., Кудряшов С.Ю.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)