Компоненты микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 83 c. — ISBN 978-5-7731-0799-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93319.html (дата обращения: 17.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Лобанова Н.А., Казаков Ю.Н.
(Научный консультант)
Варфоломеев В.А., Лецкий Э.К., Шамров М.И., Яковлев В.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гуров В.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Торгаев С.Н., Тригуб М.В., Мусоров И.С., Чертихина Д.С.
(Томский политехнический университет)
Коломиец Н.В., Пономарчук Н.Р., Елгина Г.А.
(Томский политехнический университет)
Фёдоров А.Ф., Кузьменко Е.А.
(Томский политехнический университет)
Лукутин Б.В., Муравлев И.О., Плотников И.А.
(Томский политехнический университет)
Шишмина Л.В., Ельчанинова Е.А.
(Томский политехнический университет)
Аристов А.В., Петрович В.П.
(Томский политехнический университет)
(Томский политехнический университет)
Дедюх Р.И.
(Томский политехнический университет)