Компоненты микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 83 c. — ISBN 978-5-7731-0799-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93319.html (дата обращения: 07.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Жилинская Н.Т., Иванченко О.Б., Елисеева С.А., Барсукова Н.В.
(Троицкий мост)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Синицын С.В., Хлытчиев О.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Гуров В.В., Чуканов В.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Жилинская Н.Т., Иванченко О.Б., Елисеева С.А., Барсукова Н.В.
(Троицкий мост)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Синицын С.В., Хлытчиев О.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Гуров В.В., Чуканов В.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Соколова Г.Н., Сечко Н.Н., Таранова Е.В., Палховская Е.Б., Денискина А.И., Амбражевич А.И., Мартинкевич А.В.
(Белорусская наука)
Хорев А.И., Совик Л.Е., Леонтьева Е.В.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)
Волков В.А.
(Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ)
Горяинов А.А., Барабанщиков Е.И., Шаповалов М.Е.
(Тихоокеанский научно-исследовательский рыбохозяйственный центр)
Соколова Г.Н., Сечко Н.Н., Таранова Е.В., Палховская Е.Б., Денискина А.И., Амбражевич А.И., Мартинкевич А.В.
(Белорусская наука)
Хорев А.И., Совик Л.Е., Леонтьева Е.В.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)
Волков В.А.
(Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ)
Горяинов А.А., Барабанщиков Е.И., Шаповалов М.Е.
(Тихоокеанский научно-исследовательский рыбохозяйственный центр)