Особенности производства ИС. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит общие сведения к выполнению отчета по технологической практике, включая основные этапы технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС, принципы формирования структур ИС, основные группы методов технологии изготовления ИС, основы технологических маршрутов изготовления приборных структур, особенности производства ИС и критерии прогрессивности технологии, основные технологические операции изготовления ИС, примерные технологические маршруты изготовления полупроводниковых приборов и ИС. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Технологическая практика» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 79 c. — ISBN 978-5-7731-0800-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93331.html (дата обращения: 21.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Суглобов А.Е., Седых В.А., Родионов А.В., Савина О.В.
(Дашков и К)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Суглобов А.Е., Седых В.А., Родионов А.В., Савина О.В.
(Дашков и К)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Сотник С.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Данилина О.В., Жорова А.П.
(«Русский язык». Курсы)
Абрамов И.В., Абрамов А.И., Никитин Ю.Р., Трефилов С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Сотник С.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Данилина О.В., Жорова А.П.
(«Русский язык». Курсы)
Абрамов И.В., Абрамов А.И., Никитин Ю.Р., Трефилов С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)