Особенности производства ИС. Учебное пособие

Об издании

Учебное пособие содержит общие сведения к выполнению отчета по технологической практике, включая основные этапы технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС, принципы формирования структур ИС, основные группы методов технологии изготовления ИС, основы технологических маршрутов изготовления приборных структур, особенности производства ИС и критерии прогрессивности технологии, основные технологические операции изготовления ИС, примерные технологические маршруты изготовления полупроводниковых приборов и ИС. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Технологическая практика» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).

Библиографическая запись

Липатов Г.И. Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 79 c. — ISBN 978-5-7731-0800-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93331.html (дата обращения: 17.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей