Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 85 c. — ISBN 978-5-7731-0798-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93336.html (дата обращения: 14.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Магомедова З.А.
(Садра)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Боев В.Д., Сыпченко Р.П.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Магомедова З.А.
(Садра)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Боев В.Д., Сыпченко Р.П.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Оськина Е.А.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
(Чеченский государственный университет)
Пашинцев В.Г.
(Издательство «Спорт»)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Оськина Е.А.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
(Чеченский государственный университет)
Пашинцев В.Г.
(Издательство «Спорт»)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)