IPR SMART / Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие

Издательство:

Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ

Авторы:

Липатов Г.И.

Год издания:

2019

ISBN:

978-5-7731-0798-9

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).

Библиографическая запись

Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 85 c. — ISBN 978-5-7731-0798-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93336.html (дата обращения: 17.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Технология машиностроения. Разработка технологических процессов изготовления деталей

(Ай Пи Ар Медиа)

А2. Золотое кольцо. Русский язык для иностранцев. Базовый уровень (The Golden ring. Russian for foreigners. Basic level)

Лёвина Г.М., Николенко Е.Ю.

(Ай Пи Ар Медиа)

Автоматизация деятельности предприятия розничной торговли с использованием информационной системы Microsoft Dynamics NAV

Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Автоматизация технологических процессов и производств

Схиртладзе А.Г., Федотов А.В., Хомченко В.Г.

(Ай Пи Ар Медиа)

Автоматизация технологических процессов и производств

Молдабаева М.Н.

(Инфра-Инженерия)

Автомобильные эксплуатационные материалы

Варис В.С.

(Профобразование)

Аграрный рынок: основы формирования, развития, регулирования и управления

Малыш М.Н., Ткаченко В.А.

(Проспект Науки)

Активирующее смешение в технологии полимеров

Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....

(Проспект Науки)