Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 96 c. — ISBN 978-5-9275-3097-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/95792.html (дата обращения: 25.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Томасова Д.А., Кисличенко К.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Вороненко Б.А., Гончаров М.В., Сергачева Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Плотников Д.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Терещенко Э.В., Ложечкина А.Д., Кокорова С.Д.
(Северо-Кавказский федеральный университет)
Строганов В.Ф., Сагадеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Колодяжный С.А., Головина Е.И., Иванова И.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Скрыпник А.И., Яременко С.А., Шашин А.В.
(Ай Пи Ар Медиа)