IPR SMART / Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Издательство:

Новосибирский государственный технический университет

Авторы:

Васильев В.Ю.

Год издания:

2019

ISBN:

978-5-7782-3915-9

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Библиографическая запись

Васильев В.Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. — 107 c. — ISBN 978-5-7782-3915-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98748.html (дата обращения: 03.01.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

Автомобильдер мен тракторлардың трансмиссиясы

Бектасов Б.Ө.

(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)

Культура ресторанного сервиса

Федцов В.Г.

(Дашков и К)

Мировые информационные ресурсы

Звездин С.В.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Наноэлектроника: теория и практика

Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А.

(Лаборатория знаний)

Основы объектно-ориентированного проектирования

Мейер Б.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Параллельное программирование с использованием технологии MPI

Антонов А.С.

(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)

Планирование эксперимента

Химченко А.В., Мищенко Н.И., Быков В.В., Сытник Е.С.

(Ай Пи Ар Медиа)

Радиационная физика, структура и прочность твердых тел

Бондаренко Г.Г.

(Лаборатория знаний)

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Гражданское право

Захарова Н.А., Ерофеева А.О.

(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)

Гражданское право. В 2 томах. Т.I

Бакунин С.Н., Барков А.В., Герасимов О.А., Голубцов В.Г., Грудцына Л.Ю., Дерюгина Т.В., Иванова С.А., Иншакова А.О., Камышанский В.П., Коваленко В.М., Комиссарова Е.Г., Коршунов Н.М., Кузнецова О.А.,...

(ЮНИТИ-ДАНА)

Гражданское право. В 2 томах. Т.II

(ЮНИТИ-ДАНА)

Трудовое право России

Бочкарева Н.А.

(Ай Пи Ар Медиа)

Бухгалтерский учет

Голубева С.С., Голубниченко М.В.

(Ай Пи Ар Медиа)

Гражданское право

Аникеева Т.М., Ахмедов Р.М., Горелик А.П., Григорьев А.И., Дерюгина Т.В., Джабуа И.В., Долгов С.Г., Комзолов А.И., Кузбагаров А.Н., Курбанов Р.А., Ларина И.В., Ларина Т.В., Рогачев Е.С., Рыжих И.В., ...

(ЮНИТИ-ДАНА)