Основы математического моделирования. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного отжига. Представлены методики решения основных уравнений и способы проведения процесса моделирования с целью разработки топологии современных структур микро- и наноэлектроники. Дана информация о широко используемых в настоящее время физических моделях технологических процессов электроники, их возможностях и ограничениях. Большое внимание уделено описанию параметров математических моделей, позволяющих получать реалистичные результаты моделирования, хорошо совпадающие с экспериментальными. Учебное пособие предназначено для освоения студентами методов математического моделирования основных технологических процессов изготовления микроэлектронных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также изучения современных моделей процессов электроники. Пособие позволит студентам более глубоко усвоить лекционный материал при подготовке к практическим занятиям и окажет помощь при выполнении домашних заданий и курсовых работ. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Основы математического моделирования : учебное пособие / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2014. — 108 c. — ISBN 978-5-87623-811-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98880.html (дата обращения: 10.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Балыклова К.С., Власов А.М., Гегечкори В.И., Горпинченко Н.В., Карташов В.С., Касумова К.В., Кокорекин В.А., Кузина В.Н., Медведев Ю.В., Передеряев О.И., Печенников В.М., Прокофьева В.И., Раменская Г...
(Лаборатория знаний)
Кузнецов А.А., Измалков А.В., Кузнецов П.А., Кузьменко Э.Ю., Набоков Л.В.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Малыш М.Н., Ткаченко В.А.
(Проспект Науки)
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Скворцов С.В., Савельева А.Н.
(Ульяновский государственный технический университет)
(Донской государственный технический университет)
Леонидова Г.Ф.
(Кемеровский государственный институт культуры)
Померанцев А.А.
(Липецкий государственный педагогический университет имени П.П. Семёнова-Тян-Шанского)
Беспалько С.В., Меланин В.М., Андриянов С.С., Богачев В.И., Сурнин А.Ю.
(Российский университет транспорта (МИИТ))
Коробова Л.А.,Черняева С.Н., Толстова И.С., Матыцина И.А.
(Воронежский государственный университет инженерных технологий)