Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Физические основы вакуумной техники. Учебное пособие

Издательство:
Новосибирский государственный технический университет
Авторы:
Беркин А.Б., Василевский А.И.
Год издания:
2014
ISBN:
978-5-7782-2424-7
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.

Библиографическая запись

Беркин А.Б. Физические основы вакуумной техники : учебное пособие / Беркин А.Б., Василевский А.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2014. — 84 c. — ISBN 978-5-7782-2424-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45189.html (дата обращения: 22.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия