Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы. По каждой теме приводится перечень контрольных вопросов для проверки усвоения материала и выдаются домашние задания с примером выполнения. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнология и микросистемная техника» и может быть полезно обучающимся по направлениям «Наноматериалы» и «Физика».
Библиографическая запись
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. — 122 c. — ISBN 978-5-87623-547-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56649.html (дата обращения: 13.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Куликов А.И., Овчинникова Т.Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ибраев А.С., Сабырова А.С., Бектасов Б.У.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
.jpg)
Алтыникова Н.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алифанов О.В., Ахметчина Т.М., Валянский С.И., Данкин Г.Д., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Степанова В.А....
(Издательский Дом МИСиС)
Валянский С.И., Данилова Е.В., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Уварова И.Ф.
(Издательский Дом МИСиС)
Смирнова А.В.
(Набережночелнинский государственный педагогический университет)
(Чеченский государственный университет)
Алтыникова Н.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алифанов О.В., Ахметчина Т.М., Валянский С.И., Данкин Г.Д., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Степанова В.А....
(Издательский Дом МИСиС)
Валянский С.И., Данилова Е.В., Докучаева А.А., Докучаева В.А., Колесникова Э.Н., Курашев С.М., Наими Е.К., Уварова И.Ф.
(Издательский Дом МИСиС)
Смирнова А.В.
(Набережночелнинский государственный педагогический университет)
(Чеченский государственный университет)