Технологическое оборудование для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Библиографическая запись
Камлюк В.С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В.С., Камлюк Д.В.. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67752.html (дата обращения: 14.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Вороненко Б.А., Гончаров М.В., Сергачева Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Вороненко Б.А., Гончаров М.В., Сергачева Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Хорошавин С.А., Калянов А.Е., Чернухин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гунина И.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Саталкина Н.И.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Васина А.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Небольсина М.С., Карагодин А.А., Карагодина И.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гунина И.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Саталкина Н.И.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Васина А.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Кожанова Н.В., Барбашов В.П.
(Алтайский государственный педагогический университет)
Гурьянова Т.А.
(Алтайский государственный педагогический университет)