Технология интегральных микросхем. Учебное пособие
Об издании
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Библиографическая запись
Смирнов, В. И. Технология интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Смирнов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 244 c. — ISBN 978-5-9729-1232-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/133077.html (дата обращения: 19.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Звездин С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Звездин С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Никонов О.И., Кругликов С.В., Медведева М.А.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Дивин А.Г., Балабанов П.В., Любимова Д.А.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Бурцева Е.В., Платёнкин А.В., Рак И.П.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Игнатьев А.А., Казинский А.А., Игнатьев С.А.
(Инфра-Инженерия)
Бурцева Е.В., Платёнкин А.В., Рак И.П., Терехов А.В.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Никонов О.И., Кругликов С.В., Медведева М.А.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Дивин А.Г., Балабанов П.В., Любимова Д.А.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Бурцева Е.В., Платёнкин А.В., Рак И.П.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Игнатьев А.А., Казинский А.А., Игнатьев С.А.
(Инфра-Инженерия)
Бурцева Е.В., Платёнкин А.В., Рак И.П., Терехов А.В.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)