Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы».
Библиографическая запись
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учебное пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. — 128 c. — ISBN 978-5-87623-556-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56648.html (дата обращения: 20.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Звездин С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Звездин С.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Данилина О.В., Жорова А.П.
(«Русский язык». Курсы)
Гендина Н.И., Косолапова Е.В., Рябцева Л.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Бердышев В.Е., Валиев А.Р., Зиганшин Б.Г., Дмитриев А.В., Халиуллин Д.Т., Лушнов М.А., Нафиков И.Р., Яруллин Ф.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Хачатрян Г.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Холявин И.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Данилина О.В., Жорова А.П.
(«Русский язык». Курсы)
Гендина Н.И., Косолапова Е.В., Рябцева Л.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Бердышев В.Е., Валиев А.Р., Зиганшин Б.Г., Дмитриев А.В., Халиуллин Д.Т., Лушнов М.А., Нафиков И.Р., Яруллин Ф.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Хачатрян Г.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Холявин И.И.
(Ай Пи Ар Медиа)